NSK、微小うねり30nmの転がり案内を開発

 日本精工(NSK、Tel.03-3779-7050、 http://www.jp.nsk.com )は、超高精度な転がり案内の「ナノガイド™」を開発した。微小うねりを従来比1/3に低減することで光学部品や医療・バイオ分野における超精密加工機による金型加工面の品位向上や、工程数の削減による効率化が期待される。

 これまでの転がり案内では、ボールの循環に伴う微小うねりが避けられず、光学部品などの金型を加工するような超精密加工機では、加工物に微小うねりが発生する問題が生じ、磨き加工などの後加工が必要になっていた。

 後加工の不要な、磨きレス加工を実現する手段として、従来の超精密加工機ではエアスライドや滑り案内が用いられてきました。しかし、エアスライドは高価格で剛性が低いこと、滑り案内は調整や保守が面倒であることが問題で、これらの問題を解消できる転がり案内の実現が市場から求められていた。

 本製品は、新開発したボールケージを採用することで転動体を完全に同期、微小うねりを転がり案内最高レベル30nm以下に低減した。