ナノコートTS、新プラズマ源採用のDLCコーティング

 ナノコート・ティーエス( http://www.nanocoat-ts.com )は、先進のプラズマブースタースパッタリングとプラズマCVDのハイブリッドプロセスによるDLC硬質皮膜「セルテスDCシリーズ」の受託加工を開始した。

 セルテスDCシリーズの主な用途は摺動部品、金型、治工具など。新シリーズの特徴として、複合多層構造の改善により耐荷重性能が向上。新プラズマ源採用で従来より低温処理が可能となった。また、最大処理寸法がφ350から500mmに拡大、量産時のプロセス信頼性が向上したという。

 シリーズは2種類で構成。セルテスDC2500の被膜は硬さ26GPa、ヤング率216GPa、摩擦係数(対鋼)0.1-0.15、標準膜圧3から5μm。セルテスDC1000の被膜は硬さ11GPa、ヤング率105GPa、摩擦係数(対鋼)0.1-0.15、標準膜圧3から5μm。
ファビリ焼付き限界荷重試験