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黒田精工、φ450mmシリコンウェーハ表面形状測定システムの販売開始 

黒田精工「ナノメトロTTシリーズ」 黒田精工( http://www.kuroda-precision.co.jp )は、かねてより半導体材料であるシリコンウェーハの更なる大口径化への流れに対応すべく、φ450mmシリコンウェーハの平坦度検査装置の開発をすすめており、このほど、測定装置本体ならびに装置へのウェーハ着脱部の自動化の開発を終え、「ナノメトロ450TT」として販売を開始する。

 本装置は、高剛性かつ高精度のエアスライド・エアベアリングを採用したφ300mm対応の平坦度測定器「ナノメトロ300TT」の構造を踏襲しつつ改良を加え、現行の業界標準であるSEMI規格に準拠した豊富な評価・解析機能を有するソフトウェア装備による種々の評価指標の提供を可能とし、ウェーハメーカならびにウェーハを用いた開発に携わる各種装置メーカにおける平坦度やそり形状測定の評価・解析など幅広いニーズに対応している。

 同社は、将来的なデザインルールの更なる微細化も見据え、市場ニーズを充足させる装置本体の高精度・高機能化の追求、規格標準化がすすめられているウェーハの収納カセットやハンドリング装置など、付帯装置の製品化に呼応する自動化への対応も含め、ハード・ソフトの両面から今後の展開を視野に入れている。