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新東Sプレジション、立体形状の測定が可能な卓上タイプの白色干渉顕微鏡

新東Sプレジション「OPTIFIS」 新東Sプレシジョンは、自動車関連をはじめ、半導体やMEMS (微小電気機械システム)分野等の次世代電子デバイスなどの研究・開発向け用途として、立体形状の測定が可能な卓上タイプの白色干渉顕微鏡「OPTIFIS」を開発、販売を開始した。

 同品は、機械・電子・光・化学などの多様な機能を集積した立体構造の微細デバイスを非接触で超精密な表面の形状を測定できるのが特徴。これまでの触針式の表面粗さ測定に比べ、触針式では不可能な微小粗さの測定が可能となることや測定対象をキズつけないという利点があるほか、触針式に比べて測定時間も短縮される。また、電子デバイスの表面形状をナノレベルで観察して、微小段差や膜厚を測ることも可能。

 主な用途としては、自動車分野では、エンジン系精密機械加工部品の表面粗さ・形状測定に、半導体分野では、エッチングによる電極形状やレジスト膜の厚み測定などのほか、スマートフォンやゲーム機等で使用される加速度センサーなどMEMSデバイスの測定、インクジェット方式によるドットスペーサーの微細形状測定などの用途で使用できるという。

 また、精密加工市場においても、加工表面の立体構造の測定ニーズがあり、親会社の新東工業の販売網を活用して積極的に需要先の開拓を行う。