キヤノンMJ、米社とウェーハ工程を自動化する電解めっき装置の独占販売契約を締結

 キヤノンマーケティングジャパンは、米国ClassOne Technology(クラスワンテクノロジー)社との間で、同社製品の日本国内における独占販売契約を締結し、2018年10月25日より電解めっき装置「SolsticeTMシリーズ」の販売を開始した。

 ClassOne Technology社はウェーハサイズ200mm以下のウェットプロセス装置におけるリーディングカンパニー。電解めっき装置Solsticeは、200mm以下の各種ウェーハサイズに対応し、業界トップクラスの膜厚均一性とスループットを提供する。また、省フットプリント、自動化対応、優れた制御性を実現し、生産性とプロセスの安定性に寄与する。

 さらに、金、ニッケル、銅など各種めっきを高品質かつ低コストで成膜できることに加え、メタルリフトオフ、レジストはく離、金のディプレート(電解エッチング)、アンダーバンプメタルエッチング、陽極処理など広範なプロセスの搭載が可能となる。

 キヤノンマーケティングジャパンは、今回の契約締結により、既存の同社取り扱い製品との連携提案を進めつつ、ToF(Time of Flight)を含む3Dセンシング、高周波光通信、高周波パワー半導体デバイスおよびそれら関連分野における事業成長を推し進める。

 現在、IoTの進展によって世界的に半導体の需要が高まっており、今後もデータ流通量の増大やセンサーを使った先進技術の普及などにより、半導体市場の拡大は継続するものと考えられる。中でも自動運転に用いられる測距技術「LiDAR」や、第5世代移動通信システム「5G」などに使われる垂直共振器面発光型レーザー「VCSEL(Vertical Cavity Surface Emitting Laser)」など、化合物半導体の需要は急速に伸長し、関連市場における設備投資が拡大するとともに、生産技術や生産性の向上が求められている。
キヤノンマーケティングジャパン「Solstice S8」Solstice S8