メカニカル・サーフェス・テック2018年10月号「特集:半導体分野の表面改質」「キーテク特集:ショットピーニング」発行!

mst2018年10月号表紙mst2018年10月号表紙 表面改質&表面試験・評価技術の情報誌「メカニカル・サーフェス・テック」の2018年10月号「特集:半導体分野の表面改質」「キーテク特集:ショットピーニング」が当社より10月25日に発行された。

 今回の特集では、半導体製造装置の市場・技術動向についての概要、プラズマなどを用いずに成膜を行うCat-CVD法の概要と接触分解で生成された分解種による固体表面の改質例、IoTにおけるMEMSとめっきによる新しい機能の付与、半導体デバイスなどにおいて形状創成から表面仕上げまでのプロセスをドライ雰囲気下で一貫して行うプラズマナノ製造プロセスについて紹介する。

 一方、ショットピーニングは、安価で簡易に金属の機能特性を高められる技術として適用が広がっている。今回のキーテク特集では、設立から30周年を迎えたショットピーニング技術協会協力のもと、同協会のこれまでの歩みとショットピーニングについての今後の展望について、ショットピーニング技術を使用する各分野の技術者や設計者のバイブルとなる書籍「金属疲労とショットピーニング」の改訂第4版について紹介する。

特集:半導体分野の表面改質

半導体製造装置の市場・技術動向・・・日本半導体製造装置協会 小林 章秀 氏、星野 栄一 氏に聞く
Cat-CVD法による薄膜形成と表面改質・・・北陸先端科学技術大学院大学 松村 英樹
IoTにおけるMEMSと表面処理技術・・・関東学院大学 盧 柱亨
プラズマナノ製造プロセス・・・大阪大学 山村 和也

キーテク特集:ショットピーニング

ショットピーニング技術協会設立から30年を振り返って・・・ショットピーニング技術協会 当舎 勝次
「金属疲労とショットピーニング」改訂要旨・・・ショットピーニング技術協会 当舎 勝次

連載

トップインタビュー・・・宮本 圭介 氏(アントンパール・ジャパン)
注目技術:部品コーティング膜などの摩耗検知センサーを製作する3Dプリンティング手法・・・米ユナイテッド・テクノロジーズなど

トピックス

パーカー熱処理工業など、第16回表面改質技術研究会を開催
JASIS2018開催、摩擦摩耗試験機など表面試験・評価機器が展示
表面改質展2018など開催、ドライコーティングの成膜装置・受託加工メーカーが展示

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