NSK、超大リード静音1軸アクチュエータを発売

 日本精工(Tel.03-3779-7050、 http://www.jp.nsk.com )は、「NSKモノキャリア 超大リード静音MCMシリーズ」の販売を開始する。1軸アクチュエータで2,500mm/秒の超高速送りを実現している。

 近年、送り系の高速化とともに半導体・液晶製造装置では低発塵化への要求も高まってきている。これらのニーズに対応した1軸アクチュエータとして、NSKでは新たに「超大リード静音MCMシリーズ」をラインナップした。

 同品では、独自の高速・静音ボールねじ技術をモノキャリアへ展開、循環方式をチューブ式からエンドデフレクタ式へ変更した結果、許容回転数を5,000 min-1に向上、30mmの超大リードの採用とあいまって送り速度2,500mm/秒を実現した。この送り速度はボールねじ駆動一軸アクチュエータでは最速という(NSK調べ)。また、エンドデフレクタ式と超大リード精密ボールねじの採用により、従来品に比べ同じ送り速度では約8dBの静音化を実現している。さらに、超大リード精密ボールねじを採用することにより、従来品に比べ同じ送り速度では発塵量が1/4に低減している。低発塵グリース「NSK LG2グリース」を用いることで、一層の低発塵化が可能となるとしている。