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THK、特殊環境用オイルフリー直動案内を発売

 THK(Tel.03-5735-0225、 http://www.thk.com )は、独自の固体潤滑S膜の使用で大気圧から高真空環境下での耐荷重・耐摩耗・密着性に優れた「特殊環境用オイルフリーLMガイド」を発売した。

 特殊環境用として構成部品はすべてステンレス材で構成、洗浄剤で脱脂処理を施したほか、グリースは使用せず独自の固体潤滑S膜を採用。真空度10?6[Pa]に達し、ケミカルコンタミネーション(有機物や水分等のガス状汚染)を嫌う箇所に適している。従来の真空用グリース潤滑に比べ優れた低発塵性を示すほか、大気圧から真空環境下において優れた低摩擦性を発揮。従来の固体潤滑と比べ長寿命。最高温度150℃(瞬時200℃)まで使用可能。

 用途は半導体・FPD製造装置、露光機、有機EL製造装置、イオン注入装置など。