日本電子、試料を問わず再現性よくデータ取得ができる新型光電子分光装置

日本電子「JPS-9030」 日本電子は、、試料を問わず誰でも簡単に再現性よくデータ取得ができる新型光電子分光装置 (XPS)「JPS-9030」を開発し、販売を開始した。

 同品は、新開発カウフマン型エッチングイオンソースにより、エッチングレートが1nm/min.~100nm/min. (SiO2換算) と幅広い設定が可能で、精密さを必要とする測定からスピード重視の測定まで、あらゆる目的に対応したデプスプロファイルが可能となった。また、試料交換室にカウフマン型エッチングイオンソースを搭載することにより、測定室内を汚さない高いメンテナンス性を実現した。

 また、日本語に対応した新開発ソフトウェアSpecSurf Ver.2.0は、リボンインターフェースとタブウィンドウシステムの組み合わせにより、マウスのみによるユーザーフレンドリーな操作環境を提供する。また、同社独自の自動定性機能により、複数の測定位置における定性・定量および化学状態分析がシーケンシャルに実行可能。

 さらに、角度分解測定法 (ARXPS) や全反射測定法 (TRXPS) に対応しており、ハイエンド機に匹敵する1nm (標準測定法6nm以上) の極表面超高感度分析も可能となっている。